（原标题：ASML的创业故事：光刻巨头的成长之路）
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来源：现实由半导体行业不雅察（ID：icbank）转载自ASML，谢谢。
ASML 于 1984 年 4 月 1 日树立，其时名为 ASM Lithography。这家由飞利浦和 ASM International 构成的联合企业的处事是：将飞利浦开发的晶圆步进机 PAS 2000 交易化。
围绕ASML 创立的传闻，模样了这样一幅画面：一家袖珍、好奇的初创公司被困在一个稠密的棚屋里，并试图打入壮盛发展的半导体市集。但咱们是怎么走到这一步的呢？ASM Lithography 的早期参与者是谁？他们为何联手组建这家新公司？
这个故事诠释了飞利浦的一个小名堂如安在快速发展的半导体生态系统的旯旮踯躅，然后在行业和荷兰费尔德霍芬找到我方的位置。公司的树立是新事物的驱动，同期亦然十年发展的延续。
1974 年，研究东说念主员连合在飞利浦研究院 NatLab 的 SIRE I 原型周围
01
产业的单干
在 20 世纪 60 年代和 1970 年代，芯片制造商在里面构建了绝大多数半导体价值链——制酿制品微芯片所需的总共要领。随后，在 20 世纪 70 年代末和 80 年代初，半导体制造时期的边界和复杂性快速增长。这种发展推动了半导体价值链的单干。半导体斥地行业的出现是为了提供现成的顶端贬责有酌量。有了这种现成的智力，芯片制造商和用户开发我方的芯片制造斥地就不再特地念念。
专科斥地供应商关于开发用于在微芯片上打印图案的复杂光刻系统尤其要害。改进这些系统以便它们不错打印更小的特征是推动摩尔定律的要道。关于芯片制造商来说，更多的晶体管意味着以更低的资本取得更多的盘算推算智力。
半导体生态系统的这种退换在飞利浦等大型多元化公司的里面体现出来，这些公司需要用于多样产物和应用的芯片。他们的里面斥地开发提供了高门径。然而，飞利浦里面组织不营救将其光刻时期锻练到全行业竞争水平的敏捷性、符合性和需求。相背，像飞利浦这样的大公司剥离了制造斥地业务，以便在这些时期过时之前赢利。
02
PAS 2000的雏形
恰是在这种布景下，飞利浦驱动开发我方的晶圆步进机，用于对硅晶圆进行图案化。原型机Silicon Repeater (SIRE) I 和 II 由飞利浦研究中心开发。飞利浦自动步进机 (PAS:Philips Automated Stepper) 2000 从这些研究原型中出身。
1980年5月SIRE II原型机相片
在飞利浦研究中心，飞利浦的部门主要专注于基础研究，晶圆步进机有点反常。市集需求日益带动企业研发，工程制造装备应用较多。从 1978 年起，飞利浦科学与工业 (S&I) 部门以 PAS2000 的口头推动了交易化处事。
从飞利浦研究中心转化到 S&I 后，开发晶圆步进机成为确切的跨学科事务。两个部门的职工齐力推我方的视力和处事方法。这种合作较着不错被视为迈向面前所谓的“系统工程”的第一步。
在大而无当飞利浦里面，PAS 2000 名堂仅仅一项相等小的行径。尽管如斯，它照旧遭遇了时分压力和资本加多。面对资源稀缺，时任 S&I 的副主任维姆·特鲁斯特 (Wim Troost) 诓骗个东说念主可目地主宰的预算来看守名堂标运转。他还寻求飞利浦董事会和荷兰政府的进一步营救。
PAS 2000 的集成团队
S&I 接办该名堂后，Troost 等东说念主很自得志到，外部客户的参与关于考证时期是不成或缺的。他们无力制造仅供飞利浦里面使用的 PAS 2000。要是他们想制造我方的光刻系统，就必须与多个客户密切合作，将其交易化。
03
产业政策、投资者和企业家
从 20 世纪 70 年代末驱动，在欧盟委员会的带领下，西欧列国政府重塑了产业政策。他们专注于创新和相助，瞄准新兴行业，至极是快速发展的半导体行业和微电子行业。这些政策是促进经济行径的新妙技，要是可能的话，不错重振堕入窘境的企业集团，其中很多企业（包括飞利浦）如故驱动土崩见识。
应委员会的要求，飞利浦和其他企业向各自政府抒发了这些行业的要害性。从欧洲最大的电子公司收到此音信后，荷兰政府对这一主题有了进一步的清楚，并为他们的后续步履提供了依据。
箝制高涨的资本、全球竞争和时期跨越迫使大型企业剥离非中枢业务并重新调养业务重心。关于飞利浦来说，其中一项行径即是他们的晶圆步进机。与此同期，新兴的风险投资公司和创业驱动的初创企业和边界化企业为工业增长提供了新的范式。
04
取得跨越的压力
1982 岁首，飞利浦的光刻产物洪志面对要紧挑战。他们需要更多的工程资源。尽管他们找到了评估用具的外部客户 IBM，但能否在 1982 年夏天实时录用仍存在很大的不细目性。飞利浦研究中心的工程师立即伸出赞成。S&I 高管时常探望海牙和布鲁塞尔，寻求荷兰政府和欧盟委员会的特地资金。
在时分、资金和荷兰经济部的压力下，飞利浦 S&I 驱动为其晶圆步进机寻找合作伙伴。这引致了与 Cobilt（一家制造掩模瞄准器和轨说念的公司）的初步筹谋，随后与光刻市集率领者 Perkin Elmer 进行了筹谋。
与此同期，荷兰经济事务部、飞利浦和一家成长中的荷兰公司 ASM International（或简称 ASM）之间张开了三方对话。在欧盟委员会新颖的微电子筹划 ESPRIT 的布景下，芯片公司对它们对好意思国斥地的依赖示意了担忧。为超越志行业需求，该部和 Arthur Del Prado 本东说念主建议将 ASM 手脚潜在的贬责有酌量。
手脚 ASM 的首创东说念主兼首席实践官，Del Prado 体现了新兴且流行的创业精神。他是半导体斥地边界的前驱，于 1958 岁首次将硅从硅谷引入欧洲。随后，他于 1981 年在纳斯达克初次公开募股，引起了悠扬，这对荷兰公司来说尚属初次。Del Prado的远见和签订通过展示高技术行业创业企业的变革后劲，推动他的公司风生水起。
这位企业家对飞利浦很感意思意思。他意志到大公司越来越多地通过剥离创新来裁减资本。这使得他们受东说念主尊敬的研究实验室成为事实上的“孵化器”。正如他在 1982 年 2 月所说：“我相等怀疑是否要谨慎奋发地与光刻边界的竞争敌手战役，这样晚了，与该边界的大公司合作......除非这种情况与飞利浦这样的大公司通盘发生......”尽管如斯，Del Prado 照旧对飞利浦高管在创新方面合作的意愿示意怀疑。
几个月后，1982 年 10 月 7 日，Del Prado 了解到 PAS 2000 名堂。他以为与飞利浦合作可能是他参预利润丰厚且享有殊荣的光刻市集的门票。而后不久，这位企业家抒发了 ASM 的合作意思意思。该部赞同Del Prado 的不雅点，指出这种伙伴关系对荷兰的潜在政策利益。这种伙伴关系可能会推动荷兰在微电子边界的智力。
05
寻求伙伴关系
然而，飞利浦以为 ASM 的地位太低，因此景仰 Perkin Elmer。尽管Del Prado具有企业家精神并取得了凯旋，但飞利浦高管仍将 ASM 视为破落户。Perkin Elmer 是一家多元化的大型公司，领有宏大的光刻用具装配基础，被以为是更坚强的合作伙伴。
意思意思是相互的。到 20 世纪 80 年代初，晶圆步进机比 Perkin Elmer 的 Micraligns 大概以可接纳的坐褥率对最小特征尺寸提供更多适度。在竞争加重的情况下，这家好意思国公司寻求飞快得当其市集面位。
Perkin Elmer 正在研讨与 Philips S&I 或位于列支敦士登的初创公司 Censor 合作。他们更可爱飞利浦，事理是该公司的资源和 PAS 2000 的先进性。在拟议的联合企业中，Perkin Elmer 将证明主导作用，负责销售和服务。飞利浦将孝顺时期和制造智力。
然而，飞利浦夷犹是否授予其里面资源的探望权限，举例处于附属地位的飞利浦研究中心。这种夷犹使谈判时分过长，最终Perkin Elmer 与Censor合作。
06
工程紧迫性
到 1983 年，Philips S&I 的晶圆步进机团队由毛糙 50 名工程师构成，面对着不细目性。他们将需要毛糙 1.2 亿荷兰盾（按现时订价水平盘算推算约为 2.45 亿欧元）来升级、坐褥和销售该机器。尽管 Troost 养精蓄锐、磨铁成针地奋发，包括探索与瓦里安和松下的合作伙伴关系，但晶圆步进机小组照旧来不足了。紧迫性不言而谕。
受到连络 ASM 功绩的积极音信的饱读励，S&I 时期总监 Georg de Kruyff 决定于 1983 年春天规复与 Arthur del Prado 的筹谋。在莫得什么可失去的情况下，他和一些共事参不雅了 ASM 位于荷兰比尔托芬的总部。Del Prado相等渴慕飞利浦的时期和合作伙伴关系，两边很快达成条约。
将光刻系统添加到其产物组合中将使 ASM 险些成为半导体斥地的一站式商店。这笔大批投资险些格外于 ASM 1982 年的全部收入。然而，飞利浦高管并不知说念，Del Prado正准备在 1983 年秋天之前在纳斯达克上市更多的 ASM 股票，资金不会成为问题。
07
ASML的驱动
1983 年 9 月 5 日，飞利浦和 ASM 晓示了组建联合企业的意向。在接下来的几个月里，他们完善了合作伙伴关系的细节。研讨了经济部或其投资用具的股份。就参预飞利浦研究中心进行了谈判。指定了什物和现款捐助。草拟了投资答复筹划。一位利欲熏心、敷裕远见的新总司理 Gjalt Smit 上任。
要害的是，现存的 50 名飞利浦 S&I 职工取得了颇具眩惑力的雇佣要求。但由于他们如故在飞利浦处事了一辈子，他们以为联合企业是飞利浦钞票剥离的一种时势。东说念主们不肯意对一家莫得市集准入且要道时期必须重新瞎想的初创企业抱有信心。尽管如斯，该小组仍有 47 东说念主签约。
飞利浦与ASML签署联合公司
1984 年 4 月 1 日，ASM Lithography 驱动运营。它最初位于飞利浦 S&I 位于埃因霍温的 Strijp TQ 大楼。这家新颖的公司注入了新的资源和竞争性的方法，重振了飞利浦进击光刻市集的奋发。
ASML 在埃因霍温的第一个办事处
ASM Lithography飞出了起跑器（ASM Lithography flew out of the starting blocks）。该联合企业得到了补充资源、相对高度的自主权、飞利浦开始进的工程实践以及饱读励东说念主心的时期和交易挑战等综称身分的推动。它飞快加多了更多的职工，新职工的关切很快膨胀到蓝本的晶圆步进团队。
草拟了交易筹划来升级 PAS 2000 的最大舛错：其液压晶圆台（ hydraulic wafer stage）。尽管 Troost 不可爱在半导体洁净室中使用基于石油的时期，但他早在 1980 年就选拔了锻练的时期，而不是更具创新性的电气阶段。即使在其时，很彰着 PAS 最终需要进行当代化矫正。面前是时候让当代化早日成为现实了。
这家初创企业的边界很快就超出了其设施。通过添加一些不甘心的棚屋，这个问题暂时得到了贬责。Veldhoven 被选为长久总部所在地。一座地标性建筑突显了新公司的形象和承诺。
从一驱动，ASML 就被视为创新驱动型企业家精神的体现，并有望确保荷兰异日的经济智力。年青的企业带着冲动和热忱，踏上了充满不细目性却又充满但愿的异日。
搬迁到 Veldhoven 可能是这个故事的绝交，但关于 ASML 来说这仅仅一个驱动。早期在飞利浦外棚里的日子为 ASML 成长为咱们今天所知的公司奠定了基础。该团队敷裕创造力和决心，追求时期创新，打破可能的极限。
08
起步卑微
基于 20 世纪 70 年代初以来的研发处事，同庚咱们推出了第一个系统：PAS 2000 步进机。
咱们发展飞快，飞利浦和 ASMI 扩大了投资，匡助 ASML 取得凯旋。1985 年，咱们带着 100 名职工搬进了位于 Veldhoven 新建的办公室和工场，距离飞利浦研究实验室仅几公里。1986 年，咱们将 PAS 2500 步进机推向市集，接纳新的瞄准时期，这将成为咱们机器异日很多创新的基础。同庚，咱们与镜片制造商卡尔蔡司栽种了现存的合作伙伴关系。
ASML 在 Veldhoven 的第一座建筑
到了1988年，飞利浦在台湾栽种了联合代工场后，咱们驱动进击亚洲市集。在好意思国，咱们的职工东说念主数从几名加多到 84 名，分散在五个办公方位。但在市集竞争强烈、供应商繁密的情况下，这家来自荷兰的名不见经传的小公司却无法解围。
ASML的客户很少，无法独力新生。更恶运的是，鼓动ASMI无法看守高水平的投资，答复甚微，决定退出，而全球电子行业时局每下愈况，飞利浦晓示了大边界的资本削减筹划。
咱们这家年青的、并吞现款的光刻公司的命悬一线悬而未决。出于对正在进行的研发的强项信念和要紧需要资金的带领，ASML 高管连络了飞利浦董事会成员 Henk Bodt，后者劝服了他的共事伸出了临了的调停之手。
09
从伸出调停之手到初次公开募股
这笔投资得到了很好的诓骗。年内，咱们推出了打破性平台 PAS 5500。PAS 5500 凭借其行业开始的坐褥力和折柳率，眩惑了 ASML 达成盈利所需的要道客户。这是走向锻练的第一步。
PAS 5500 平台的早期告白
PAS 5500 是 ASML 成名的平台。在推出之前，ASML 在光刻市集上排行第三，过时于巨头尼康和佳能。但PAS 5500平台的凯旋很快让ASML高涨到了第二位，并为其成长为全球光刻机率领者奠定了基础。
PAS 5500 源自飞利浦研究东说念主员在 20 世纪 70 年代发起的一系列系统。该平台的称呼自己就体现了它的传统以及咱们与飞利浦的长久合作关系：飞利浦自动步进器 (PAS)。
Ted Shafer 是 ASML 的长久职工，现任锻练产物销售司理，他的整个事迹生活齐与这一打破性平台密切联系。
“我在 PAS 5500 推出的并吞年加入了 ASML，即 1991 年，”Ted 回忆说念。“我的第一份处事是担任应用工程师，负责将有史以来第一批 PAS 5500 运载到位于好意思国菲什基尔的 IBM。我的职责是优化系统性能并匡助客户工场的新式系统达到坐褥级锻练度。”
第一个 PAS 5500 系统以及 Ted 对其优化的奋发促使 IBM 推出了 System/390 系列，用他们的话来说，该系列在其时是“IBM 有史以来提供的最坚强的盘算推算机”。
凭借这些开始产物，ASML在1995年景为了一家竣工孤独的上市公司，在阿姆斯特丹和纽约证券走动所上市。飞利浦在初次公开募股中出售了一半的股份，并在接下来的几年中出售了剩余的股份。初次公开募股带来了进一步推动咱们增长的资金，咱们扩大了位于 Veldhoven De Run 的研发和坐褥设施，该设施其后成为咱们的新总部。
10
TWINSCAN 和浸没式时期铺平了说念路
2001年，咱们推出了TWINSCAN系统过甚改造性的双阶段时期。这些系统在测量和瞄准下一个晶圆的同期曝光另一个晶圆，从而最大轨则地提升系统的坐褥率和准确性，从而提升客户的总共权价值。
同庚，咱们完成了对Silicon Valley Group 的收购，进一步增强ASML在半导体时期跨越方面的智力。TWINSCAN AT:1150i 手脚第一台浸入式机器于 2003 岁首次亮相，随后是 TWINSCAN XT:1250i、XT:1400i，并于 2006 年推出第一台批量坐褥的浸入式机器 XT:1700i。
2007 年，咱们推出了数值孔径为 1.35 的 TWINSCAN XT:1900i 浸入式系统，这是业内最高规格的产物。借助这项新时期，咱们使客户大概通过透镜和晶圆之间的水层投射色泽来坐褥更小的芯片特征。
2007 年晚些时候，咱们收购了 BRION，这是一家开始的半导体瞎想和制造优化贬责有酌量提供商。这是咱们“全体光刻”政策的驱动。咱们将光刻系统的学问与优化光刻之前、期间和之后芯片制造工艺的技能相连结。咱们全体光刻政策早期阶段的另一个要道产物是 YieldStar，这是咱们的计量系统，可在芯片制造经由中提供实时测量和校正。第一个 YieldStar (250D) 于 2008 年录用给客户。
11
用EUV再次改变期间
2010年，咱们向亚洲芯片制造商的研究机构运载了第一台极紫外（EUV） 光刻用具原型（TWINSCAN NXE:3100），记号着光刻新期间的驱动。EUV 光刻使用较短波长的光来制造更小的芯片特征，从而产生更快、更坚强的芯片。
2013年，咱们收购了位于圣地亚哥的光刻光源制造商Cymer，以加快EUV的发展。同庚，咱们推出了第二代 EUV 系统 (NXE:3300)，随后于 2015 年推出了第三代 EUV 系统 (NXE:3350)。EUV 光刻时期在 2016 年迎来了改造，其时客户驱动订购咱们的第一个坐褥就绪系统 NXE:3400 。在此期间，咱们箝制提升浸没式光刻系统的性能，芯片行业的主力NXT1970Ci和NXT1980Di被装配谢宇宙各地的客户工场中。
2016 年，咱们收购了开始的电子束计量用具供应商Hermes Microvision (HMI) ，扩大了咱们的全体光刻产物组合。在咱们的共同奋发下，电子束图形保真度计量系统 (ePfm5) 于 2017 岁首次发货。
继2018年总部位于荷兰代尔夫特的高技术公司Mapper算帐后，ASML首肯收购该公司的学问产权钞票 。
2020 岁首，EUV 参预多数目坐褥，咱们庆祝了第 100 台 EUV 系统发货。但 2020 年的要害意思意思还在于另一个原因：新冠肺炎 (COVID-19) 大流行。咱们遍布宇宙各地的团队通过创新新方式而已营救客户、诓骗其专科学问 应答大流行病以及伸出赞成营救当地社区，讲明了他们的符合智力和马虎证明的智力。
2020年11月，完成了对Berliner Glas集团的收购 ，咱们正经迎接Berliner Glas团队加入ASML寰球庭。该集团的时期玻璃部门于 2021 年 4 月剥离给 Glas Tr?sch 集团 。
2023 年，咱们推出了第一套下一代 EUV 系统 ，其数值孔径高达 0.55（称为“高数值孔径”）。该平台称为 EXE，具有新颖的光学瞎想和彰着更快的平台。
瞻望异日，ASML还将不息创造名胜。
https://www.asml.com/en/news/stories/2024/ASML-founding-story
https://www.asml.com/en/news/stories/2021/three-decades-of-pas-5500
https://www.asml.com/en/company/about-asml/history
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